?范圍線性運(yùn)動(dòng) — Carrier.L1010.XY
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 斷電位置?保持
• XY?體式組合結(jié)構(gòu)
• 全?程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 可與?精度壓電掃描臺(tái)堆疊組合
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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1
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可選版本
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.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
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2
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外形尺寸
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250 × 250 × 40 mm
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3
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主體材料
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鋁合金 / 不銹鋼
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4
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運(yùn)動(dòng)行程
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100 × 100 mm
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5
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速度范圍
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默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
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6
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驅(qū)動(dòng)力
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2 N
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7
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保持力
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4 N
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8
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水平方向使用最大負(fù)載
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4 kg
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9
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最小步伐（閉環(huán)）
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10 nm
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10
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全行程俯仰/偏擺
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0.3 mrad
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11
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位置傳感器類型
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光學(xué)位置傳感器
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12
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位置傳感器分辨率
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2 nm （默認(rèn)）
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13
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線纜 & 接頭
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默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：kapton漆包線，PEEK-D-Sub15
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14
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控制器規(guī)格
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MC-Newton.S系列
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?范圍線性運(yùn)動(dòng) — Carrier.L1010s.XY
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 緊湊設(shè)計(jì)
• XY?體式組合結(jié)構(gòu)
• 斷電位置?保持
• 全?程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 可與?精度壓電掃描臺(tái)堆疊組合
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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1
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可選版本
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.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
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2
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外形尺寸
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185 × 185 × 28 mm
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3
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主體材料
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標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV ，.NM 鋁合金, 不銹鋼/陶瓷：2 kg
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4
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運(yùn)動(dòng)行程
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100 x 100 mm
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5
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速度范圍
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默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
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6
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驅(qū)動(dòng)力
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2 N
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7
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保持力
|
4 N
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8
|
水平方向使用最大負(fù)載
|
4 kg
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9
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最小步伐（閉環(huán)）
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10 nm
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10
|
全行程俯仰/偏擺
|
0.3 mrad
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11
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位置傳感器類型
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光學(xué)位置傳感器
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12
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位置傳感器分辨率
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2 nm
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13
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線纜 & 接頭
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默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
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14
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控制器規(guī)格
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MC-Newton.S系列
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?范圍線性運(yùn)動(dòng) — Carrier.L7550s.XY
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 緊湊設(shè)計(jì)
• XY?體式組合結(jié)構(gòu)
• 斷電位置?保持
• 全?程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 可與?精度壓電掃描臺(tái)堆疊組合
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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1
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可選版本
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.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本；
.HV，高真空版本；
.UHV，超高真空版本；
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2
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外形尺寸
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140 × 125 × 28 mm
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3
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主體材料
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標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV，.NM 鋁合金/不銹鋼：1.5 kg
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4
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運(yùn)動(dòng)行程
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75 × 50 mm
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5
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速度范圍
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默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
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6
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驅(qū)動(dòng)力
|
2 N
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7
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保持力
|
4 N
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8
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水平方向使用最大負(fù)載
|
4 kg
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9
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最小步伐（閉環(huán)）
|
10 nm
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10
|
全行程俯仰/偏擺
|
0.3 mrad
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11
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位置傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
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12
|
位置傳感器分辨率
|
2 nm
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13
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線纜 & 接頭
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默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
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14
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控制器規(guī)格
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MC-Newton.S系列
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13810146393
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