產(chǎn)品參數(shù)

OBHL100

OBHL200

可選版本

.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；

運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))

100 µm

200 µm

外形尺寸

64 × 64 × 54 mm

78 × 78 × 67 mm

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：650 g；

.NM 鋁合金，鈦合金：600 g

標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，

.UHV 鋁合金，鋼：850 g；

.NM 鋁合金，鈦合金：800 g

線性誤差度

0.02%

重復(fù)定位精度

5 nm

運(yùn)動(dòng)分辨率（閉環(huán))

1 nm

1.5 nm

運(yùn)動(dòng)分辨率（開(kāi)環(huán))

0.3 nm

0.5 nm

剛性

3 N/μm

2 N/μm

共振頻率X，0 負(fù)載(± 20%)

1 kHz

750 Hz

共振頻率X，150 g 負(fù)載(± 20%)

560 Hz

400 Hz

最大負(fù)載

1 kg

位置傳感器類型

電容式位置傳感

線纜 & 接頭

默認(rèn)：屏蔽線纜， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽線纜，SMA

控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列

?   產(chǎn)品參數(shù)

Carrier.OB200.XY

可選版本

.NM，絕對(duì)?磁版本；.HV，?真空版本；.UHV，超?真空版本；

運(yùn)動(dòng)?向

XY

底?尺? × ?度

70 × 70 × 25 mm

主體材料

鋁合? & 不銹鋼

運(yùn)動(dòng)?程

200 × 200 μm

中通孔徑

20 mm

閉環(huán)分辨率

2 nm

運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度

10 nm

線性度

0.03%

空載共振頻率

350 Hz

最?負(fù)載

500 g

傳感器類型

電容式

驅(qū)動(dòng)電壓

Max. 150 V

推薦使?溫度

15 ~  40 °C

質(zhì)量

280g

 控制器規(guī)格

MC-Archimedes.N 系列