LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品特?
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 斷電位置?保持
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• 納?級(jí)分辨率
• 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)等?由堆疊組合
LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品尺?
LS35z.Lab垂直位移臺(tái)選型表
| 序號(hào) |
參數(shù)項(xiàng) |
LS35z.Lab |
LS35z.Lab.E |
| 1 |
特殊版本 |
.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完全無(wú)磁版本 |
無(wú) |
| 2 |
外形尺寸 |
35 × 35 × 41 mm |
35 × 35 × 41 mm |
| 3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版.HV, .UHV 不銹鋼: 250 g；.NM, 純鈦，陶瓷: 160 g |
不銹鋼；250 g |
| 4 |
運(yùn)動(dòng)行程 |
10 mm |
10 mm |
| 5 |
速度范圍 |
默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 1 mm/s- |
| 6 |
保持力 |
7.5 N |
7.5 N |
| 7 |
水平方向使用最大負(fù)載 |
典型值: 500 g；可選配: 1.5 kg- |
| 8 |
雙向位置重復(fù)精度 |
±150 nm |
±300 nm |
| 9 |
全行程俯仰 / 偏擺 |
0.3 mrad |
0.3 mrad |
| 10 |
最小步代 (閉環(huán)) |
5 nm |
100 nm |
| 11 |
位置傳感器類(lèi)型 |
光學(xué)位置傳感器 |
光學(xué)位置傳感器 |
| 12 |
位置傳感器分辨率 |
默認(rèn): 2 nm；可選配: 0.5 nm |
50 nm |
| 13 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜 D-Sub15；.UHV 版本: Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)- |
| 14 |
控制器規(guī)格 |
MC-Newton.S 系列 |
MC-Newton.S 系列 |
13810146393
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