LS35x.Lab
| 產(chǎn)品參數(shù) | LS35x.Lab | LS35x.Lab.E | |
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1 |
特殊版本 |
.HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； .NM，完全無磁版本； |
? |
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2 |
外形尺寸 |
35 × 35 × 12 mm |
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3 |
主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 不銹鋼：85 g；NM，純鈦；65 g |
不銹鋼；85 g |
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4 |
運動行程 |
20 mm |
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5 |
速度范圍 |
默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s |
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6 |
驅(qū)動力 |
典型值：2 N ；可選配：4 N |
2 N |
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7 |
保持力 |
典型值：3 N ；可選配：5 N |
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8 |
水平方向使用最大負(fù)載 |
1 kg |
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9 |
豎直方向使用最大負(fù)載 |
默認(rèn)：100 g，可選配：250 g |
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10 |
雙向位置重復(fù)精度 |
±100 nm |
±300 nm |
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11 |
全行程俯仰/偏擺 |
0.3 mrad |
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12 |
最小步伐（閉環(huán)) |
5 nm |
100 nm |
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13 |
位置傳感器類型 |
光學(xué)位置傳感器 |
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14 |
位置傳感器分辨率 |
標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； |
50 nm |
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15 |
線纜 & 接頭 |
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
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16 |
控制器規(guī)格 |
MC-Newton.S系列 |
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13810146393
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