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高精度X射線衍射儀SXRD-HR100

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、自動化為一體的X射線衍射儀，其測試范圍覆蓋了粉末、薄膜、納米材料等各類材料，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、能源、半導(dǎo)體、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

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產(chǎn)品概述

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特色

· 標(biāo)配密封陶瓷X射線光管，功率大，亮度高，可持續(xù)工作，長期可靠性好

· 高運(yùn)動精度測角儀，配合高精密光學(xué)元件，可提供高準(zhǔn)直、高單色的X射線光束

· 二維光子計數(shù)探測器，具有很高的空間分辨率，可以大幅度提高測試效率

· 具有良好的兼容性和擴(kuò)展性，支持模組快捷切換，以滿足不同應(yīng)用場景的需求

· 智能光路系統(tǒng)：光路自動切換、模組自動識別

測試數(shù)據(jù)

SXRD-HR100測試數(shù)據(jù):半高寬(FWHM)

測試條件
· B/B幾何光路

· 光管功率：40KV，40mA

· 索拉狹縫：3°

· 入射狹縫：0.6°

· 步進(jìn)模式：step=0.003°(單晶硅)

· 連續(xù)模式：step=0.02°(多晶硅)

高精度X射線衍射儀SXRD-HR100技術(shù)特點(diǎn)

大功率光管（兩種靶材可選）

Cu靶：標(biāo)配光源，波長=1.54Å，適用于絕大部分X射線衍射實驗和應(yīng)用場景

Mo靶：波長=0.71Å，主要針對輕元素（如 Li、B）材料和超高分辨（如半導(dǎo)體應(yīng)變層）的衍射實驗

模塊化與自動化設(shè)計

· 系統(tǒng)具有模組自動識別功能，可隨時了解系統(tǒng)配置狀態(tài)
· 光路自動調(diào)整，可有效降低實驗難度，提高實驗效率
· 不同光路之間可自動切換，大大提高實驗的自動化程度

超高分辨率

· 高精度測角儀，配合光學(xué)編碼器的全閉環(huán)控制，可實現(xiàn)的定位精度為 ±0.0001°

· X射線多層膜反射鏡（Goebel鏡），用于X射線光束修飾，可將光束準(zhǔn)直性提高到0.03°以內(nèi)，并有效去除特征光譜中的Kβ部分

· Ge220雙晶單色器，用于X射線光束修飾，可進(jìn)一步提高光束單色性，是超高分辨率衍射的必備光學(xué)元件

· 可選配二維單光子計數(shù)探測器，具有大面積（有效面積 77.1x 38.4毫米）、高空間分辨率（最小像素75x75 微米）和高計數(shù)率

客戶價值

提升科研效率 （自動化 + 高通量，縮短研發(fā)周期）

自動化操作：自動校準(zhǔn)功能、模塊識別功能、一鍵式流程，可以有效降低實驗難度，提高實驗效率，非常適合需要快速迭代的研發(fā)場景

大面積光子計數(shù)探測器：可同時采集多角度數(shù)據(jù)，結(jié)合 AI 輔助分析，快速完成物相識別或應(yīng)力分布計算，加速實驗-反饋循環(huán)

節(jié)約運(yùn)行成本（低維護(hù)設(shè)計 + 模塊化擴(kuò)展 + 自動化設(shè)計，降低全生命周期成本）

低維護(hù)與高壽命：標(biāo)配的陶瓷密封X射線管，使用壽命長，日常無需維護(hù)成本

模塊化設(shè)計與擴(kuò)展性：用戶無需為不同需求購置多臺設(shè)備，通過升級附件，即可擴(kuò)展新的功能，降低初期投資和后續(xù)升級成本

節(jié)約人力成本：自動化操作減少對專業(yè)操作員的依賴，新手經(jīng)過短期培訓(xùn)即可獨(dú)立完成復(fù)雜測試，有效降低人力資源投入

提升數(shù)據(jù)的質(zhì)量與可靠性（高靈敏度 + 穩(wěn)定性，確保數(shù)據(jù)可靠性，支持高精度工藝控制）

高精度與低噪聲：高精密光學(xué)元件，對X射線光束進(jìn)行準(zhǔn)直和單色，配合多能量閾值可選的光子計數(shù)探測器，可以有效降低噪聲信號，提高實驗的分辨率，確保弱信號樣品的精準(zhǔn)檢測，提高實驗數(shù)據(jù)的可靠性

穩(wěn)定性與重復(fù)性：高精度機(jī)械加工，配合光學(xué)編碼器形成的全閉環(huán)控制，保證了測角儀的運(yùn)動精度、穩(wěn)定性、長期可靠性，可以滿足工業(yè)質(zhì)量控制（如半導(dǎo)體晶圓檢測）對可重復(fù)性的嚴(yán)苛要求

靈活性（模塊化設(shè)計，兼容性強(qiáng)，擴(kuò)展性強(qiáng)，滿足跨領(lǐng)域需求，適應(yīng)技術(shù)趨勢迭代）
易用性（智能化操作降低技術(shù)門檻，遠(yuǎn)程協(xié)作提升資源利用率）

應(yīng)用領(lǐng)域

技術(shù)規(guī)格

項目	規(guī)格參數(shù)
外觀尺寸	1300(寬)×1880(高)×1300(深)mm
X射線光管	最大輸出功率3kw，電壓 10 - 60kv，電流 0 - 50mA
	靶材 Cu，陽極接地，鈹窗 300μm，起飛角 6°
	電子束焦斑：0.4×1.2mm
	水冷：最小流速 3.5l/min,最大水壓 490KPa,壓降 98KPa
高壓電源	輸入：電壓 230Vac - 10%, one phase,電流 33A
	輸出：電壓 0 - 60kv,電流 0 - 80mA
	穩(wěn)定性：預(yù)熱 1 小時后,8 小時內(nèi)電壓和電流變化 < 0.01%
	紋波：在 1KHz 以下，0.03% rms；在 1KHz 以上，0.75% rms
測角儀	類型：垂直放置測角儀
	角度范圍：-110° ~ +168°
	角度定位：步進(jìn)電機(jī) + 光學(xué)編碼器
	最小步長 0.0001°，運(yùn)動精度≤±0.0001°

項目	規(guī)格參數(shù)
探測器	類型：光子計數(shù)型混合像素半導(dǎo)體探測器
	有效面積：77.1×38.4 = 2961mm²
	像素大?。?5×75μm
	尺寸：100 x 140 x 93 mm
樣品臺	標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：Rx, RY, Z, phi
	XYZ 運(yùn)動平臺 (可選)： X, Y, Z
	毛細(xì)管樣品臺 (可選)：X, Y, phi
	五軸樣品臺 (可選)： X, Y, Z, phi, Chi
	Non - ambient 樣品臺 (可選)
光學(xué)元件	可變狹縫：0.05 - 10mm
	soller 狹縫：0.5°丶0.2°丶0.1°丶0.05°丶0.02°
	Goebel 鏡：發(fā)散度≤0.03°， f1 = 100mm，單色性 Kα
	雙晶單色器：Ge220×2

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