Z軸掃描臺(tái) — S100/200/300.Z
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
S100.Z |
S200.Z |
S300.Z |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
55 × 55 × 23 mm |
55 × 55 × 23 mm |
55 × 55 × 23 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
100 μm |
200 μm |
300 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 260 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 240 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 260 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 240 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 260 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 240 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.02% |
0.02% |
0.02% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
0.5 nm |
0.6 nm |
0.9 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.2 nm |
0.3 nm |
0.5 nm |
| 9. 剛性 |
1 N/μm |
0.7 N/μm |
0.4 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
550 Hz |
540 Hz |
430 Hz |
| 11. 共振頻率,0.5 kg 負(fù)載 (± 20%) |
230 Hz |
210 Hz |
150 Hz |
| 12. 最大負(fù)載 |
500 g |
500 g |
500 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 15. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
XY掃描臺(tái) — S100/200/300.XY
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
S100.XY |
S200.XY |
S300.XY |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
55 × 55 × 28 mm |
55 × 55 × 28 mm |
55 × 55 × 28 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
100 μm |
200 μm |
300 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 450 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 410 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 450 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 410 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 450 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 410 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.02% |
0.02% |
0.02% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
0.5 nm |
0.6 nm |
0.9 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.2 nm |
0.3 nm |
0.5 nm |
| 9. 剛性 |
0.7 N/μm |
0.5 N/μm |
0.2 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
X: 570 Hz;Y: 530 Hz |
X: 480 Hz;Y: 400 Hz |
X: 300 Hz;Y: 260 Hz |
| 11. 共振頻率,0.5 kg 負(fù)載 (± 20%) |
X: 130 Hz;Y: 120 Hz |
X: 130 Hz;Y: 115 Hz |
X: 85 Hz;Y: 80 Hz |
| 12. 最大負(fù)載 |
500 g |
500 g |
500 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 16. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
XY掃描臺(tái) — S500.XY
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
S500.XY |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
70 × 70 × 28 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
500 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 500 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 460 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.02% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
6 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
1.5 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.7 nm |
| 9. 剛性 |
0.13 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
X: 190 Hz;Y: 150 Hz |
| 11. 共振頻率,0.5 kg 負(fù)載 (± 20%) |
X: 68 Hz;Y: 66 Hz |
| 12. 最大負(fù)載 |
500 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 16. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ掃描臺(tái) — S100/200/300.XYZ
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 緊湊的串聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
S100.XYZ |
S200.XYZ |
S300.XYZ |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
55 × 55 × 42 mm |
55 × 55 × 42 mm |
55 × 55 × 42 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
100 μm |
200 μm |
300 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 650 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 600 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 650 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 600 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 650 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 600 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.02% |
0.02% |
0.02% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
5 nm |
5 nm |
5 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
0.5 nm |
0.6 nm |
0.9 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.2 nm |
0.3 nm |
0.5 nm |
| 9. 剛性 |
0.6 N/μm |
0.5 N/μm |
0.2 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
X: 490 Hz;Y: 480 Hz;Z: 350 Hz |
X: 410 Hz;Y: 380 Hz;Z: 320 Hz |
X: 310 Hz;Y: 250 Hz;Z: 230 Hz |
| 11. 共振頻率,0.5 kg 負(fù)載 (± 20%) |
X: 110 Hz;Y: 115 Hz;Z: 170 Hz |
X: 100 Hz;Y: 105 Hz;Z: 155 Hz |
X: 75 Hz;Y: 80 Hz;Z: 110 Hz |
| 12. 最大負(fù)載 |
500 g |
500 g |
500 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 16. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
XYZ掃描臺(tái) — S100.XYZ.P
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 超?型并聯(lián)多軸結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
對(duì)應(yīng)參數(shù)值 |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
40 × 40 × 40 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
100 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 200 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 190 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.02% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
6 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
1 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.5 nm |
| 9. 剛性 |
0.6 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
XYZ: 750 Hz |
| 11. 共振頻率,0.2 kg 負(fù)載 (± 20%) |
XYZ: 230 Hz |
| 12. 最大負(fù)載 |
200 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 15. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
?速單軸掃描運(yùn)動(dòng) — SD15/30.X.C
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• ?動(dòng)態(tài)毫秒級(jí)響應(yīng)速度
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
SD15.X |
SD30.X |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 2. 外形尺寸 |
62 × 40 × 13.5 mm |
80 × 40 × 13.5 mm |
| 3. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
15 μm |
30 μm |
| 4. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 180 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 160 g |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 250 g;.NM 鋁合金,鈦合金: 220 g |
| 5. 線性誤差度 |
0.03% |
0.03% |
| 6. 重復(fù)定位精度 |
2 nm |
4 nm |
| 7. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
0.2 nm |
0.5 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.1 nm |
0.2 nm |
| 9. 剛性 |
28 N/μm |
18 N/μm |
| 10. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
3.3 KHz |
2.2 KHz |
| 11. 共振頻率,0.3 kg 負(fù)載 (± 20%) |
1 KHz |
0.625 KHz |
| 12. 最大負(fù)載 |
300 g |
300 g |
| 13. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
電容式位置傳感 |
| 14. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 15. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
MC-Archimedes.N 系列 |
三軸掃描運(yùn)動(dòng) — SH30.XYZ.C
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• ?負(fù)載能?
• ?摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納?級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器,閉環(huán)控制
• 直接位置檢測(cè)
產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)品參數(shù) |
對(duì)應(yīng)參數(shù)值 |
| 1. 可選版本 |
.NM, 絕對(duì)無磁版本;.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本 |
| 3. 外形尺寸 |
160 × 160 × 34.5 mm |
| 4. 運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán)) |
30 × 30 × 15 μm |
| 5. 主體材料 |
標(biāo)準(zhǔn)版,.HV, .UHV 鋁合金,鋼: 4.5 kg;.NM 鋁合金,鈦合金: 4.2 kg |
| 6. 線性誤差度 |
0.03% |
| 7. 重復(fù)定位精度 |
4 nm |
| 8. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (閉環(huán)) |
0.3 nm |
| 9. 運(yùn)動(dòng)分辨率 (開環(huán)) |
0.2 nm |
| 10. 剛性 |
25 N/μm |
| 11. 共振頻率,0 負(fù)載 (± 20%) |
X: 760 Hz;Y: 760 Hz;Z: 830 Hz |
| 12. 共振頻率,10 kg 負(fù)載 (± 20%) |
X: 220 Hz;Y: 220 Hz;Z: 340 Hz |
| 13. 最大負(fù)載 |
10 kg |
| 14. 位置傳感器類型 |
電容式位置傳感 |
| 15. 線纜 & 接頭 |
默認(rèn):屏蔽線纜,D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽線纜,SMA |
| 16. 控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |