Mirrors系列
壓電移相器 — Mirrors.Z12：高動態(tài)位置姿態(tài)定位，光路調(diào)節(jié)，毫秒級運動響應(yīng)，高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案
鏡片偏擺臺 — Mirrors.TxTy0303/1010：大角度 & 高動態(tài)偏轉(zhuǎn)，用于鏡片轉(zhuǎn)動和光路調(diào)節(jié)等應(yīng)用場景
壓電移相器 — Mirrors.Z12
高動態(tài)位置姿態(tài)定位，光路調(diào)節(jié)，毫秒級運動響應(yīng)，高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動
• 納米級位置分辨率• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 毫秒級響應(yīng)速度
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產(chǎn)品參數(shù) |
Mirrors.Z12 |
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可選版本 |
.NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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運動方向 |
Z 方向 |
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底面尺寸 × 高度 |
Φ25 × 31 mm |
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主體材料 |
不銹鋼 |
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運動行程（開環(huán)） |
15 μm |
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運動行程（閉環(huán)） |
12 μm |
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運動分辨率 （閉環(huán)） |
0.2 nm |
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線性度 |
0.1% |
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剛度 |
40 N/μm |
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共振頻率 （空載） |
4 kHz |
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最大負(fù)載 |
200 g |
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傳感器類型 |
SGS |
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驅(qū)動電壓 |
Max. 150 V |
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推薦使用溫度 |
15 ~ 40 °C |
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線纜 |
D-Sub 3W3 |
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重量 |
40 g |
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控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
鏡片偏擺臺 — Mirrors.TxTy0303/1010
大角度 & 高動態(tài)偏轉(zhuǎn)，用于鏡片轉(zhuǎn)動和光路調(diào)節(jié)等應(yīng)用場景
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動
• 多行程可選
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 毫秒級響應(yīng)速度
• 內(nèi)置SGS傳感器，閉環(huán)控制
• 兩自由度偏擺運動
| 產(chǎn)品參數(shù) | Mirrors.TxTy.0303 | Mirrors.TxTy.1010 |
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可選版本 |
.NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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運動方向 |
Tx，Ty |
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底面尺寸 × 高度 |
Φ25 × 45 mm |
Φ25 × 75 mm |
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主體材料 |
不銹鋼 |
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運動行程(θXθY閉環(huán)） |
±1.5 mrad，±1.5 mrad |
±5 mrad，±5 mrad |
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運動分辨率 （開環(huán)） |
0.05 μrad （開環(huán)） |
0.2 μrad （開環(huán)） |
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運動分辨率 （閉環(huán)） |
0.1 μrad （閉環(huán)） |
0.5 μrad （閉環(huán)） |
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線性度 |
0.1% |
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共振頻率 (θX，θY空載） |
2 kHz |
1 kHz |
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搖擺半徑 |
6.5 mm |
6.5 mm |
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傳感器類型 |
SGS |
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驅(qū)動電壓 |
Max. 150 V |
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推薦使用溫度 |
15 ~ 40 °C |
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線纜 |
D-Sub 3W3 |
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控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動
• 中心通孔
• 毫秒級響應(yīng)速度
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納米級位置分辨率
• 內(nèi)置SGS傳感器，閉環(huán)控制
• 并聯(lián)結(jié)構(gòu)三自由度調(diào)節(jié)
| 產(chǎn)品參數(shù) | Mirrors.Z12TxTy0101 |
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可選版本 |
.NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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運動方向 |
Z，Tx & Ty 方向 |
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底面尺寸 × 高度 |
30 × 30 mm |
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主體材料 |
鋁合金 & 不銹鋼 |
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運動行程（Z / Tx / Ty 閉環(huán)） |
12 μm / 1 mrad / 1mrad |
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運動分辨率 （開環(huán) Z / Tx / Ty） |
0.2 nm / 0.05 μrad / 0.05 μrad |
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運動分辨率 （閉環(huán) Z / Tx / Ty） |
0.4 nm / 0.1 μrad / 0.1 μrad |
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線性度（Z / Tx /Ty） |
0.2% |
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共振頻率 （空載） |
5.5 kHz |
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剛性 |
10 N/µm |
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傳感器類型 |
SGS |
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驅(qū)動電壓 |
Max. 150 V |
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推薦使用溫度 |
- 20 ~ 80 °C |
|
線纜 |
D-Sub 3W3 |
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控制器規(guī)格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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