六?由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)臺(tái) — Free6D.3-2.070
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 斷電位置?保持
• 并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• ?剛性系統(tǒng)
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
|
1
|
可選版本
|
.HV，高真空版本;
.UHV，超高真空版本；
.NM，完全無磁版本；
|
|
2
|
外形尺寸
|
Ø70 × 65 mm
|
|
3
|
主體材料
|
標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：400 g；,NM 純鈦，陶瓷：600 g
|
|
4
|
最大垂直負(fù)載
|
300 g
|
|
5
|
運(yùn)動(dòng)行程 X，Y，Z
|
± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm
|
|
6
|
運(yùn)動(dòng)行程 θX，θY ，θZ *
|
± 16 °,± 13 °,± 26 °
|
|
7
|
單向重復(fù)精度 X，Y，Z *
|
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm
|
|
8
|
單向重復(fù)精度θX，θY，θZ
|
± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad
|
|
9
|
最小步伐 X，Y，Z
|
10 nm，10 nm，10 nm
|
|
10
|
最小步伐 θX，θY，θZ
|
1 μrad，1 μrad，1 μrad
|
|
11
|
傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
|
|
12
|
位置傳感器分辨率
|
2 nm
|
|
13
|
線纜 & 接頭
|
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
|
|
14
|
控制器規(guī)格
|
MC-Free6D
|
六?由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)臺(tái) — Free6D.3-2.150
產(chǎn)品特色
• 超安靜運(yùn)動(dòng)
• 納?級(jí)分辨率
• 斷電位置?保持
• 并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)
• 內(nèi)置?精度光學(xué)位置傳感器
• ?剛性系統(tǒng)
產(chǎn)品圖片&尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
|
1
|
可選版本
|
.HV，高真空版本;
.UHV，超高真空版本；
.NM，完全無磁版本；
|
|
2
|
外形尺寸
|
Ø150 × 90 mm
|
|
3
|
主體材料
|
標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：1.4 kg；,NM 純鈦，陶瓷：2.1 kg
|
|
4
|
最大垂直負(fù)載
|
1 kg
|
|
5
|
中空孔徑
|
Ø40 mm
|
|
6
|
運(yùn)動(dòng)行程 X，Y，Z *
|
± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm
|
|
7
|
運(yùn)動(dòng)行程 θX，θY ，θZ *
|
± 9 °,± 8 °,± 14 °
|
|
8
|
單向重復(fù)精度 X，Y，Z
|
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm
|
|
9
|
單向重復(fù)精度 θX，θY，θZ
|
± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad
|
|
10
|
最小步伐 X，Y，Z
|
10 nm，10 nm，10 nm
|
|
11
|
最小步伐 θX，θY，θZ
|
1 μrad，1 μrad，1 μrad
|
|
12
|
傳感器類型
|
光學(xué)位置傳感器
|
|
13
|
位置傳感器分辨率
|
2 nm
|
|
14
|
線纜 & 接頭
|
默認(rèn)：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
|
|
15
|
控制器規(guī)格
|
MC-Free6D
|
13810146393
在線咨詢
