二、物鏡Z運動控制 — OBHL100， OBHL200
高速掃描運動，電容閉環(huán)傳感，超高運動分辨率
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動
• 毫秒級響應速度
• 可升級自動對焦功能
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導向
• 亞納米級位置分辨率
• 可定制更大通光孔徑
• 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制
• 大負載能力，支持多種規(guī)格鏡頭
產(chǎn)品圖片 & 尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品參數(shù)
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OBHL100
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OBHL200
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可選版本
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.NM，絕對無磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；
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運動方向 & 行程 (閉環(huán))
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100 µm
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200 µm
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外形尺寸
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64 × 64 × 54 mm
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78 × 78 × 67 mm
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主體材料
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標準版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：650 g；
.NM 鋁合金，鈦合金：600 g
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標準版，.HV，
.UHV 鋁合金，鋼：850 g；
.NM 鋁合金，鈦合金：800 g
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線性誤差度
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0.02%
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重復定位精度
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5 nm
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運動分辨率（閉環(huán))
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1 nm
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1.5 nm
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運動分辨率（開環(huán))
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0.3 nm
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0.5 nm
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剛性
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3 N/μm
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2 N/μm
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共振頻率X，0 負載(± 20%)
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1 kHz
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750 Hz
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共振頻率X，150 g 負載(± 20%)
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560 Hz
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400 Hz
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最大負載
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1 kg
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位置傳感器類型
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電容式位置傳感
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線纜 & 接頭
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默認：屏蔽線纜， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽線纜，SMA
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控制器規(guī)格
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MC-Archimedes.N 系列
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三、物鏡XY運動控制 — Carrier.OB200.XY
高速掃描運動，電容閉環(huán)傳感，超高運動分辨率
產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動
• 直接位置檢測
• 無摩擦柔順結(jié)構(gòu)導向
• 亞納米級位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制
產(chǎn)品圖片 & 尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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? 產(chǎn)品參數(shù)
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Carrier.OB200.XY
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可選版本
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.NM，絕對?磁版本；.HV，?真空版本；.UHV，超?真空版本；
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運動?向
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XY
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底?尺? × ?度
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70 × 70 × 25 mm
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主體材料
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鋁合? & 不銹鋼
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運動?程
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200 × 200 μm
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中通孔徑
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20 mm
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閉環(huán)分辨率
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2 nm
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運動可重復精度
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10 nm
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線性度
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0.03%
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空載共振頻率
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350 Hz
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最?負載
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500 g
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傳感器類型
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電容式
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驅(qū)動電壓
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Max. 150 V
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推薦使?溫度
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15 ~ 40 °C
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質(zhì)量
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280g
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控制器規(guī)格
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MC-Archimedes.N 系列
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* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型，請聯(lián)系我們獲取。
高分辨率顯微系統(tǒng)的綜合運動解決方案
樣品定位掃描，物鏡對焦，光束掃描
產(chǎn)品特色
• 全壓電運動系統(tǒng)
• 全閉環(huán)解決方案
• 大范圍樣品運動+微尺度精密掃描
• 亞納米級位置分辨率
產(chǎn)品圖片 & 尺寸
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品參數(shù)
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系統(tǒng)組合（從上至下）
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OB400
Carrier.SL200.XYZ
Carrier.L1010s.XY
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運動方向
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XYZ
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宏動行程
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100 × 100 mm (XY, Carrier.L1010s.XY)
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精密掃描行程
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200 × 200 × 200 μm (XYZ, Carrier.SL200.XYZ)
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物鏡調(diào)節(jié)范圍
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400 μm (Z, OB400)
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宏動系統(tǒng)最小步進（閉環(huán)）
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10 nm (XY, Carrier.L1010s.XY)
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精密掃描分辨率（閉環(huán)）
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2 nm (XYZ, Carrier.SL200.XYZ)
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