標(biāo)準(zhǔn)單軸掃描運(yùn)動(dòng)模塊，高剛性模組
高速單軸掃描運(yùn)動(dòng)SD15/30.X.C 產(chǎn)品特色
• 壓電陶瓷堆疊驅(qū)動(dòng)
• 直接位置檢測(cè)
• 無(wú)摩擦柔順結(jié)構(gòu)導(dǎo)向
• 亞納米級(jí)位置分辨率
• 內(nèi)置電容傳感器，閉環(huán)控制
• 高動(dòng)態(tài)毫秒級(jí)響應(yīng)速度
產(chǎn)品圖片 & 尺寸
高速單軸掃描運(yùn)動(dòng)SD15/30.X.C選型表
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產(chǎn)品參數(shù)
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SD15.X |
SD30.X
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可選版本
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.NM，絕對(duì)無(wú)磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；
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外形尺寸
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62 × 40 × 13.5 mm
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80 × 40 × 13.5 mm
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運(yùn)動(dòng)方向 & 行程 (閉環(huán))
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15 μm
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30 μm
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主體材料
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標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：180 g .NM 鋁合金，鈦合金：160 g
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標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：250 g .NM 鋁合金，鈦合金：220 g
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線性誤差度
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0.03%
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重復(fù)定位精度
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2 nm
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4 nm
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運(yùn)動(dòng)分辨率（閉環(huán))
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0.2 nm
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0.5 nm
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運(yùn)動(dòng)分辨率（開(kāi)環(huán))
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0.1 nm
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0.2 nm
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剛性
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28 N/μm
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18 N/μm
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共振頻率， 0 負(fù)載(± 20%)
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3.3 KHz
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2.2 KHz
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共振頻率， 0.3 kg 負(fù)載(± 20%)
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1 KHz
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0.625 KHz
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最大負(fù)載
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300 g
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位置傳感器類(lèi)型
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電容式位置傳感
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線纜 & 接頭
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默認(rèn)：屏蔽線纜， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽線纜，SMA
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控制器規(guī)格
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MC-Archimedes.N 系列
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13810146393
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